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深紫外固體激光器工作的方式大家了解多少
點擊次數：2598 時間：2023-11-01
深紫(zi)外(wai)固體激光器是一種利用固體材料產生深紫(zi)外(wai)激光的裝置，其工作方式可以簡要描述如下：
激(ji)(ji)發源：在深紫外(wai)固體(ti)(ti)激(ji)(ji)光器中，通(tong)常采用高能(neng)量脈沖激(ji)(ji)光或者(zhe)電子束(shu)來(lai)激(ji)(ji)發固體(ti)(ti)材料。這些高能(neng)量的輸入會導致固體(ti)(ti)材料中電子躍遷到(dao)較高的能(neng)級。
光放大：當電子躍遷到(dao)較高能級時，它(ta)(ta)們(men)會(hui)處于一個(ge)不(bu)穩定的(de)狀態，并(bing)且很(hen)快回到(dao)基(ji)態。在(zai)回到(dao)基(ji)態的(de)過程(cheng)中，它(ta)(ta)們(men)釋放出能量并(bing)產(chan)生一系列的(de)光子。這些光子具有特定波(bo)長和頻(pin)率(lv)，在(zai)深紫外(wai)范(fan)圍內。
共振(zhen)腔：為了增強這些產生的(de)深紫外光子，通常(chang)需(xu)要將該固體(ti)材料置(zhi)于(yu)一個(ge)共振(zhen)腔（resonantcavity）之中。共振(zhen)腔由兩個(ge)鏡(jing)面構成，其中一個(ge)鏡(jing)面透(tou)明(ming)而另一個(ge)則是部分反射的(de)。這樣設計使得(de)從實際上所(suo)(suo)有方(fang)向傳(chuan)播進入(ru)共振(zhen)腔內部并與(yu)被反射、干涉(she)等所(suo)(suo)引起來(lai)回波動的(de)光子，只有那些與(yu)固體(ti)材料發生共振(zhen)的(de)特定頻率和波長才能夠得(de)到放(fang)大。
輸(shu)(shu)出：共振(zhen)腔中的光(guang)子在(zai)不斷來回反(fan)射，逐(zhu)漸(jian)增加其(qi)數(shu)量(liang)。當達到一定程(cheng)度(du)時，其(qi)中一部分光(guang)子會(hui)通過半透(tou)明鏡面(mian)輸(shu)(shu)出作為(wei)激(ji)(ji)光(guang)束。這個激(ji)(ji)光(guang)束具有深紫(zi)外的波長和(he)高能量(liang)。
綜(zong)上所述，深紫外固體激(ji)光(guang)器通(tong)過(guo)使(shi)(shi)用高能量輸(shu)入來激(ji)發固體材料中電子躍遷，并(bing)(bing)利(li)用共振腔的設計使(shi)(shi)得產生的深紫外光(guang)子得到放大并(bing)(bing)最終輸(shu)出為(wei)激(ji)光(guang)束(shu)。這種工(gong)作(zuo)方式使(shi)(shi)它成為(wei)許(xu)多(duo)應用領域中重(zhong)要且有價值的裝置，如微影技術(shu)、熒光(guang)檢測、化學分析等。
