IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態激光系統，應用于光學計量、193 nm步進光學校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

該系(xi)統的中心(xin)波長可定制(zhi)，范圍在185至194 nm之間，并可在訂購時配(pei)置為固(gu)定波長。

另外，系(xi)統還(huan)可(ke)以集(ji)成一臺絕對(dui)(dui)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)精(jing)度(du)為(wei)0.001 nm的(de)(de)高(gao)精(jing)度(du)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)儀。這使(shi)得對(dui)(dui)激光(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)調諧的(de)(de)控制具有最大的(de)(de)精(jing)度(du)。

可選

• 圖形用戶界面

• LabView庫

• 精密光譜儀

• 中心波(bo)長:185 ~ 194 nm

• 符合CDRH的快門

IXION 193 SLM 激光器應用

• 193 nm 計量

• 光譜儀校準

• 干涉度量

• 準分子種子源

IXION 193 SLM